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微波催化技術是對光催化氧化工藝的一種升級改進，把微波加熱與催化劑加快化學歷程反應的優點結合起來，利用微波加熱的特點提供高溫高壓，與催化劑共同作用降低化學反應的活化能（分子從常態轉變為容易發生化學反應活躍狀態所需要的能量稱為活化能），加速化學反應進程，再通過光氧凈化處理，節省了基建費用和運行費用；該反應在密閉環境中進行，不對外界環境造成二次污染，并且能有效保護操作人員；最為重要的是該工藝提供了一種處理高濃度難降解有機廢氣的有效方法，能更好的降解有機污染物，或把難降解的有機物降解為易被生物降解中間產物，從而將有毒有害物質改變成為低分子無害物質，如水和二氧化碳。
優勢
1、裝置簡單，一次性投資小，操作簡便，使用壽命長，便于管理；
2、催化板設計，不存在催化劑失活和中毒等問題；
3、凈化技術可靠穩定，設備無需添加任何易耗材料和人工日常維護，只需接通電源即可正常運作，運行維護費用極低；
4、運用微波技術，把微波加熱與催化劑加快化學反應的優點結合起來，凈化效果是普通光催化氧化和光觸媒的3－5倍。
采用微波電磁輻射功能對廢氣進行微波輻射，使細胞中極性物質隨高頻微波場的擺動受到干擾和阻礙，引起微生物細胞的蛋白質，核酸等生物大分子受熱凝固或變性失活，從而導致其突變或死亡，同時對磁共振使之產生強磁輻射對廢氣分子進行切割、破壞、斷裂，如：氨、硫化氫、甲硫氫、甲硫醇、甲硫醚、二甲二硫、二硫化碳和苯乙烯、苯、甲苯、二甲苯、丁酮、丙酮、吡啶、乙酸乙脂、DMF等物質的分子鍵，破壞細菌的核酸(DNA)，再通過臭氧進行氧化反應，達到脫臭及殺滅細菌的目的。再利用O3對廢氣進行氧化反應，后采用特制合成催化劑對廢氣進行光合還原反應。
微波催化廢氣處理成套設備主要利用微波催化UV光解技術，該技術可以高效低成本低占地面積解決食品加工、工藝生產等工藝過程中出現的廢氣環境問題。
